Erittäin puhdas kaasuputkitekniikka on tärkeä osa erittäin puhdasta kaasunsyöttöjärjestelmää, joka on avaintekniikka vaaditun erittäin puhtaan kaasun toimittamisessa käyttöpisteeseen ja silti pätevän laadun ylläpitämiseen;Puhdas kaasuputkitekniikka sisältää järjestelmän oikean suunnittelun, liitosten ja tarvikkeiden valinnan, rakentamisen ja asennuksen sekä testauksen.Viime vuosina yhä tiukemmat vaatimukset erittäin puhtaiden kaasujen puhtaudelle ja epäpuhtauspitoisuudelle mikroelektroniikan tuotteiden tuotannossa, joita edustavat laajamittaiset integroidut piirit, ovat tehneet erittäin puhtaiden kaasujen putkistoteknologiasta entistä huolestuttavampaa ja korostunutta.Seuraavassa on lyhyt katsaus erittäin puhtaisiin kaasuputkiin materiaalivalinnastaof rakentaminen sekä vastaanotto ja päivittäinen hallinta.
Tavallisten kaasujen tyypit
Elektroniikkateollisuuden yleisten kaasujen luokitus：
Yleiset kaasut（Bulkkikaasu）: vety (H2), typpi (N2), happi (O2), argon (A2), jne.
Erikoiskaasutovat SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… jne.
Erikoiskaasutyypit voidaan yleensä luokitella syövyttäviksikaasua, myrkyllistäkaasua, syttyvääkaasua, palavakaasua, inerttikaasuajne. Yleisesti käytetyt puolijohdekaasut luokitellaan yleensä seuraavasti.
(i) Syövyttävä / myrkyllinenkaasua: HCl, BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3…jne.
(ii) Syttyvyyskaasua: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO jne.
(iii) palavuuskaasua: O2, Cl2, N2O, NF3… jne.
(iv) Inerttikaasua: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, Hän… jne.
Monet puolijohdekaasut ovat haitallisia ihmiskeholle.Erityisesti jotkut näistä kaasuista, kuten SiH4 itsestään syttyminen, kunhan vuoto reagoi kiivaasti ilman hapen kanssa ja alkaa palaa;ja AsH3erittäin myrkyllinen, mikä tahansa pieni vuoto voi aiheuttaa ihmishengen vaaran, se johtuu näistä ilmeisistä vaaroista, joten järjestelmän suunnittelun turvallisuusvaatimukset ovat erityisen korkeat.
Kaasujen käyttöalue
Nykyteollisuuden tärkeänä perusraaka-aineena kaasutuotteet ovat laajalti käytössä, ja suuri määrä yleisiä kaasuja tai erikoiskaasuja käytetään metallurgiassa, teräs-, öljy-, kemianteollisuudessa, koneissa, elektroniikassa, lasissa, keramiikassa, rakennusmateriaaleissa, rakentamisessa. , elintarviketeollisuuden, lääketieteen ja lääketieteen aloilla.Kaasun käytöllä on tärkeä vaikutus erityisesti näiden kenttien korkeaan teknologiaan ja se on sen välttämätön raaka-ainekaasu tai prosessikaasu.Ainoastaan erilaisten uusien teollisuudenalojen sekä nykyaikaisen tieteen ja teknologian tarpeiden ja edistämisen avulla kaasuteollisuuden tuotteita voidaan kehittää harppauksin monipuolisesti, laadullisesti ja määrällisesti.
Kaasusovellus mikroelektroniikassa ja puolijohdeteollisuudessa
Kaasun käytöllä on aina ollut tärkeä rooli puolijohdeprosessissa, erityisesti puolijohdeprosessia on käytetty laajalti eri teollisuudenaloilla, perinteisestä ULSI:stä, TFT-LCD:stä nykyiseen mikrosähkömekaaniseen (MEMS) teollisuuteen. jotka käyttävät ns. puolijohdeprosessia tuotteiden valmistusprosessina.Kaasun puhtaus vaikuttaa ratkaisevasti komponenttien suorituskykyyn ja tuotesaannoihin, ja kaasun saannin turvallisuus liittyy henkilöstön terveyteen ja laitoksen toiminnan turvallisuuteen.
Puhtaiden putkistojen merkitys erittäin puhtaan kaasun kuljetuksissa
Ruostumattoman teräksen sulatus- ja materiaalinvalmistusprosessissa voi imeytyä noin 200 g kaasua tonnia kohden.Ruostumattoman teräksen käsittelyn jälkeen ei vain sen pinta, joka oli tahmea erilaisten epäpuhtauksien kanssa, vaan myös sen metallihila absorboi tietyn määrän kaasua.Kun putkilinjan läpi virtaa ilmaa, metalli imee tämän osan kaasusta ja palaa ilmavirtaan saastuttaen puhdasta kaasua.Kun ilmavirta putkessa on epäjatkuvaa virtausta, putki adsorboi paineen alaisen kaasun, ja kun ilmavirtaus lakkaa kulkemasta, putken adsorboitu kaasu muodostaa painehäviön hajoamaan, ja erottunut kaasu tulee myös putkessa olevaan puhtaaseen kaasuun. epäpuhtauksina.Samanaikaisesti adsorptio ja resoluutio toistuvat, joten putken sisäpinnalla oleva metalli tuottaa myös tietyn määrän jauhetta, ja nämä metallipölyhiukkaset saastuttavat myös putken sisällä olevan puhtaan kaasun.Tämä putken ominaisuus on välttämätön kuljetettavan kaasun puhtauden varmistamiseksi, mikä edellyttää putken sisäpinnan erittäin korkean sileyden lisäksi myös suurta kulutuskestävyyttä.
Käytettäessä voimakkaasti syövyttävää kaasua on putkistossa käytettävä korroosionkestäviä ruostumattomia teräsputkia.Muuten putken sisäpintaan muodostuu korroosion vuoksi korroosiopilkkuja ja vakavimmissa tapauksissa metallin irtoamista tai jopa rei'itysaluetta on suuri, mikä saastuttaa jaettavan puhtaan kaasun.
Erittäin puhtaiden ja puhtaiden suurten virtausnopeuksien kaasunsiirto- ja jakeluputkistojen liittäminen.
Periaatteessa ne kaikki hitsataan, ja käytettävien putkien organisaation ei tarvitse muuttua hitsauksen yhteydessä.Liian korkean hiilipitoisuuden omaavat materiaalit altistuvat hitsattujen osien ilmanläpäisevyydelle hitsattaessa, mikä saa aikaan kaasujen keskinäisen tunkeutumisen putken sisällä ja ulkopuolella ja tuhoaa siirtyvän kaasun puhtauden, kuivuuden ja puhtauden, mikä johtaa kaasun menetykseen. kaikki ponnistelumme.
Yhteenvetona voidaan todeta, että erittäin puhdasta kaasua ja erityistä kaasunsiirtoputkia varten on käytettävä erittäin puhdasta ruostumatonta terästä olevaa putkea erityiskäsittelyllä, jotta voidaan valmistaa erittäin puhdas putkijärjestelmä (mukaan lukien putket, liittimet, venttiilit, VMB, VMP) puhtaan kaasun jakelulla on tärkeä tehtävä.
Puhtaan teknologian yleinen käsite siirto- ja jakeluputkistoja varten
Erittäin puhdas ja puhdas kaasurungon voimansiirto putkistolla tarkoittaa, että kuljetettavan kaasun kolmelle osalle on tietyt vaatimukset tai säädöt.
Kaasun puhtaus: Epäpuhtausilmakehän pitoisuus g:ssä Kaasun puhtaus: Kaasun epäpuhtausilmakehän pitoisuus, yleensä ilmaistuna prosentteina kaasun puhtaudesta, kuten 99,9999%, ilmaistaan myös epäpuhtausilmakehän pitoisuuden tilavuussuhteena ppm, ppb, ppt.
Kuivuus: hiven kosteuden määrä kaasussa tai määrä, jota kutsutaan kosteudeksi, yleensä ilmaistuna kastepisteenä, kuten ilmakehän paineen kastepiste -70.C.
Puhtaus: kaasun sisältämien epäpuhtaushiukkasten määrä, hiukkaskoko µm, kuinka monta hiukkasta/M3 ilmaistaan, paineilmalla, yleensä myös ilmaistuna kuinka monta mg/m3 väistämättömiä kiinteitä jäämiä, joka kattaa öljypitoisuuden .
Epäpuhtauksien kokoluokitus: saastehiukkaset, viittaa pääasiassa putkiston hankaamiseen, kulumiseen, metallihiukkasten, ilmakehän nokihiukkasten sekä mikro-organismien, faagien ja kosteutta sisältävien kaasun kondensaatiopisaroiden jne. aiheuttamaan korroosioon hiukkaskoon koon mukaan on jaettu
a) Suuret hiukkaset – hiukkaskoko yli 5 μm
b) Partikkeli – materiaalin halkaisija 0,1-5 μm
c) Ultra-mikrohiukkaset – hiukkaskoko alle 0,1 μm.
Tämän tekniikan soveltamisen tehostamiseksi, jotta pystyttäisiin ymmärtämään hiukkaskoon ja μm-yksiköiden havaintokykyä, tarjotaan viitteeksi joukko erityisiä hiukkasten tilaa.
Seuraavassa on tiettyjen hiukkasten vertailu
| Nimi / hiukkaskoko (µm) | Nimi / hiukkaskoko (µm) | Nimi/ hiukkaskoko (µm) |
| Virus 0.003-0.0 | Aerosoli 0,03-1 | Aerosolisoitu mikropisara 1-12 |
| Ydinpolttoaine 0,01-0,1 | Maali 0,1-6 | Lentotuhka 1-200 |
| Hiilimusta 0,01-0,3 | Maitojauhe 0,1-10 | Torjunta-aine 5-10 |
| Hartsi 0,01-1 | Bakteerit 0,3-30 | Sementtipöly 5-100 |
| Tupakansavu 0,01-1 | Hiekkapöly 0,5-5 | Siitepöly 10-15 |
| Silikoni 0,02-0,1 | Torjunta-aine 0,5-10 | Ihmisen hiukset 50-120 |
| Kiteytynyt suola 0,03-0,5 | Väkevä rikkipöly 1-11 | Merihiekka 100-1200 |
Postitusaika: 14.6.2022