Puolijohteiden markkinoiden kasvaessa puhtauden ja tarkkuuden standardit muuttuvat tiukemmiksi. Yksi puolijohteiden valmistuksen laadun määrittävistä tekijöistä on prosessissa käytetyt kaasut. Näillä kaasuilla on monia rooleja valmistusprosessissa, mukaan lukien:
Tarkkuusprosessin hallinta
Saastumisen ehkäisy
Metallurgisen omaisuuden parantaminen
Näiden roolien suorittamiseksi tehokkaasti kaasun syöttö- ja jakelujärjestelmän on oltava tehokasta. Puolijohdevalmistuksessa käytettyjen kaasukäsittelyjärjestelmien suunnittelu on tuettava vankka komponentit ja räätälöityjä kokoonpanoja puolijohteiden luotettavan ja korkealaatuisen tuotannon varmistamiseksi.
Puolijohteiden valmistuksessa käytettyjä kaasuja
Puolijohteiden valmistusprosessi vaatii eri kaasujen käytön prosessin eri vaiheissa.
Vaikka yleisiä kaasuja, kuten typpeä, vetyä, argonia ja heliumia, voidaan käyttää niiden puhtaassa muodossa, tietyt prosessit voivat vaatia erikoistuneita seoksia. Silanit tai siloksaanit, heksafluoridit, halogenidit ja hiilivedyt ovat muutamia puolijohteiden valmistuksessa käytetyistä erikoiskaasuista. Monet näistä kaasuista voivat olla vaarallisia tai erittäin reaktiivisia, mikä luo haasteita komponenttien valinnassa ja suunnittelussa kaasujärjestelmille.
Tässä on joitain esimerkkejä:
\ Vety ja helium voivat helposti vuotaa putkisto- ja sovitusjärjestelmistä niiden pienen atomiskoon ja painon vuoksi.
\ Silanit ovat erittäin syttyviä ja voivat polttaa spontaanisti (automaatti) ilmassa.
\ Typen difluoridi, jota käytetään laskeutumis-, etsaus- ja kammionpuhdistusvaiheissa, tulee voimakas kasvihuonekaasu, kun ne vuotavat ympäristöön.
\ Vetyfluori (etsauskaasu) on erittäin syövyttävä metalliputkistoon.
\ Trimetyyligallium ja ammoniakki voi olla vaikea käsitellä - pienet lämpötilan ja painevaatimusten vaihtelut voivat vaikuttaa laskeumaprosessiin.
Prosessiolosuhteiden hallinta näiden kaasujen kielteisten vaikutusten minimoimiseksi on oltava ensisijainen tavoite järjestelmän suunnittelun aikana. Yhtä tärkeää on käyttää korkealaatuisia komponentteja, kuten AFK -kalvoventtiilejä rakennusprosessin aikana.
Järjestelmäsuunnittelun haasteiden ratkaiseminen
Puolijohdeluokan kaasut ovat useimmissa tapauksissa korkean puhtauden ja tarjoavat inertti -olosuhteet tai tehostavat reaktioita valmistusprosessin eri vaiheissa, kuten syövytys- ja laskeutumiskaasuissa. Tällaisten kaasujen vuoto tai saastuminen voi olla kielteisiä vaikutuksia. Siksi on kriittistä, että järjestelmäkomponentit olivat aikaisemmin hermeettisesti suljettuja ja korroosiokestävää sekä sileä pintapinta (elektrolyyttinen kiillotus) varmistaakseen, että saastumismahdollisuuksia ei voida ylläpitää ja että erittäin korkea puhtautta voidaan ylläpitää.
Lisäksi jotkut näistä kaasuista voidaan lämmittää tai jäähdyttää haluttujen prosessiolosuhteiden saavuttamiseksi. Hyvin eristetyt komponentit varmistavat lämpötilanhallinnan, joka on kriittinen lopputuotteen tehokkaalle suorituskyvylle.
Lähteen sisääntulosta käyttöpisteeseen AFK: n laaja komponenttivalikoima tukee puolijohdehuoneissa ja tyhjiökammioissa vaadittavaa erittäin korkeaa puhtautta, lämpötilaa, painetta ja virtauksen hallintaa.
Suunniteltuja järjestelmiä, joissa on laatukomponentteja puolijohdefabsissa
Laatukomponenttien ja suunnittelun optimoinnin rooli on kriittinen puolijohteiden tarkan ohjauksen ja turvallisen valmistuksen kannalta. Käytettyjen komponenttien on oltava vankkoja ja vuotavia vastaamaan erilaisia prosessiolosuhteita, joita vaaditaan valmistuksen eri vaiheissa.
Erittäin korkea puhtaus
Vuotovapaat tiivisteet
Lämpötilan ohjattu eristys
Paineenhallinta
Korroosionkestävyys
Elektrolyyttinen kiillotuskäsittely
Viestin aika: Lokakuu-09-2023