Erittäin korkeat puhtauskaasut ovat välttämättömiä koko puolijohteiden toimitusketjussa. Itse asiassa tyypilliselle FAB: lle korkean puhtaan kaasut ovat suurin materiaalikustannukset itse piin jälkeen. Globaalin sirupulan seurauksena teollisuus kasvaa nopeammin kuin koskaan - ja korkean puhtaan kaasun kysyntä kasvaa.
Puolijohteiden valmistuksen yleisimmin käytettyjä irtotavaraa kaasuja ovat typpi, helium, vety ja argoni.
Nitrogeeni
Typpi muodostaa 78% ilmakehästämme ja on erittäin runsas. Se sattuu olemaan myös kemiallisesti inertti ja johtamaton. Seurauksena on, että typpi on löytänyt tiensä useisiin toimialoihin kustannustehokkaana inerttikaasuna.
Puolijohdeteollisuus on tärkeä typen kuluttaja. Modernin puolijohteiden valmistuslaitoksen odotetaan käyttävän jopa 50 000 kuutiometriä typpeä tunnissa. Puolijohteiden valmistuksessa typpi toimii yleisenä tarkoituksena ja puhdistaa kaasua, suojaamalla herkkiä piikiekkoja reaktiiviselta happelta ja kosteelta ilmassa.
Helium
Helium on inertti kaasu. Tämä tarkoittaa, että typen, kuten helium on kemiallisesti inertti -, mutta sillä on myös korkean lämmönjohtavuuden lisäetu. Tämä on erityisen hyödyllistä puolijohteiden valmistuksessa, jolloin se voi johtaa lämpöä tehokkaasti korkean energian prosesseista ja auttaa suojaamaan niitä lämpövaurioilta ja ei-toivottuilta kemiallisilta reaktioilta.
Vety
Vetyä käytetään laajasti koko elektroniikan valmistusprosessissa, ja puolijohteiden tuotanto ei ole poikkeus. Erityisesti vetyä käytetään:
Hehkutus: Piilekiekot lämmitetään tyypillisesti korkeissa lämpötiloissa ja jäähdytetään hitaasti kiderakenteen korjaamiseksi (hehkuttaa). Vetyä käytetään lämmön siirtämiseen tasaisesti kiekkoon ja kiderakenteen rakentamisessa.
Epitaksi: Erittäin korkea puhtaus vety käytetään pelkistävänä aineena puolijohdemateriaalien, kuten piin ja germaniumin, epitaksiaalisessa laskeutumisessa.
Laskeutuminen: Vety voidaan seostaa piikalvoihin niiden atomirakenteen tekemiseksi epäjärjestyksellisemmäksi, mikä auttaa lisäämään resistiivisyyttä.
Plasmanpuhdistus: Vetyplasma on erityisen tehokas poistamaan tinasaasteita UV -litografiassa käytetyistä valonlähteistä.
Argoni
Argon on toinen jalo kaasu, joten sillä on sama matala reaktiivisuus kuin typpi ja helium. Argonin matala ionisaatioenergia tekee siitä kuitenkin hyödyllisen puolijohdesovelluksissa. Ionisaation suhteellisen helppouden vuoksi argonia käytetään yleisesti primaarisena plasmakaasuna syövytys- ja laskeuma reaktioihin puolijohteiden valmistuksessa. Tämän lisäksi Argonia käytetään myös Excimer -lasereissa UV -litografialle.
Miksi puhtaudella on merkitystä
Tyypillisesti puolijohdeteknologian kehitys on saavutettu koon skaalauksella, ja uuden sukupolven puolijohdeteknologialle on ominaista pienemmät ominaisuuden koot. Tämä tuottaa useita etuja: enemmän transistoreita tietyssä volyymissa, parannettuja virtauksia, alhaisempaa tehonkulutusta ja nopeampaa kytkemistä.
Kriittisen koon pienentyessä puolijohdealaitteet kuitenkin muuttuvat yhä kehittyneemmiksi. Maailmassa, jossa yksittäisten atomien sijainti on merkitystä, vikatoleranssikynnykset ovat erittäin tiukkoja. Seurauksena on, että nykyaikaiset puolijohdeprosessit vaativat prosessikaasuja, joilla on suurin mahdollinen puhtaus.
WOFLY on korkean teknologian yritys, joka on erikoistunut kaasun sovellusjärjestelmän tekniikkaan: Elektroninen erityinen kaasujärjestelmä, laboratoriokaasujärjestelmä, teollisuuskeskittynyt kaasun toimitusjärjestelmä, irtotavarakaasu (nestemäinen), korkea puhtaus kaasu- ja erityisprosessin kaasun toissijainen putkistojärjestelmä, kemiallinen toimitusjärjestelmä, puhdas vesijärjestelmä, joka tarjoaa täyden joukon teknisiä ja teknisiä palveluita sekä installaatin ja apulaistuotteita. Järjestelmän kokonaistestaus, ylläpito ja muut tukituotteet integroidulla tavalla.
Viestin aika: heinäkuu-11-2023