Kaasujen käyttö puolijohdeteollisuudessa juontaa juurensa 1950 -luvun alkuun vuoteen 1960 -luvulle. Puolijohteiden valmistusprosessin aikana kaasuja käytetään pääasiassa puolijohdemateriaalien puhdistamiseen ja suojaamiseen niiden puhtauden ja laadun varmistamiseksi. Yleisimmin käytettyjen kaasujen joukossa ovat typpi ja vety.
Kun puolijohdeteknologia kehitettiin ja valmistusprosessit jatkoivat paranemista, kaasujen kysyntä kasvoi. Vuonna 1970 puolijohteiden valmistustekniikan edelleen kehittäminen kaasujen soveltaminen keskeisissä prosesseissa, kuten ohutkalvojen syövytys ja laskeutuminen vähitellen lisääntyivät, ja fluoridikaasuista (EG SF6) ja happea käytettiin yleisesti syövytys- ja laskeutumiskaasuja. Vuonna 1980 lisääntyi edelleen kaasujen kysyntä integroitujen piirejen kehittyessä ja niiden kysynnän lisääntyessä. Vetyä käytettiin laajasti valmistusprosessissa, mukaan lukien vedyn hehkutus ja vetyhöyryn laskeutuminen. Ja vuodesta 1990 nykypäivään, korkean puhtaan kaasujen ja erityisten kaasujen kysyntä on lisääntynyt, kun puolijohdealaitteiden koot ovat jatkaneet kutistumista ja uusia prosesseja on otettu käyttöön. Esimerkiksi äärimmäisen ultravioletti litografian (EUV) levitys vaatii erittäin voimakkaiden kaasujen, kuten typen ja vedyn, käytön.
Puolijohdekaasu kasvaa edelleen, kun kehitetään siihen liittyviä tuotteita, joita ohjaavat yhä useammat tuotteet, kun taas kaasu kuuluu myös vaaranlähteeseen, joten kaasun dekompressioon, kaasun havaitsemistuotteisiin ja kaasun vuototuotteisiin, kuten paineen säätelijöihin, kaasun venttiiliin, kaasupalleruihin, kaasuvuotohekkille jne., Estävät tuotteet ja niiden roolit ovat yhtä seuraavia:
Paineen säätelijät: Paineen säätelijät ovat laitteita, joita käytetään kaasun paineen ohjaamiseen. Ne koostuvat yleensä säätimen venttiilistä ja paineanturista. Painesäätelmät käyttävät korkeaa painekaasutuloa ja vakauttavat lähtökaasun painetta säätämällä venttiiliä vastaamaan tiettyjä sovellusvaatimuksia. Painesäätelijöitä käytetään laajasti muun muassa muun muassa teollisuus-, valmistus- ja laboratorioissa sekä puolijohdeteollisuudessa kaasun tarjonnan vakauden ja turvallisuuden varmistamiseksi.
Kaasuventtiilit: Kaasuventtiilejä käytetään kaasuvirtauksen ohjaamiseen ja kaasuväylien sulkemiseen. Heillä on yleensä päälle/pois -toiminto, joka avaa tai sulkee kaasun virtauksen. Kaasuventtiilejä on erityyppisiä, mukaan lukien manuaaliset venttiilit, sähköventtiilit ja pneumaattiset venttiilit. Niitä käytetään laajasti kaasujärjestelmissä kaasujen virtauksen, paineen ja virtausnopeuden hallitsemiseksi.
Kaasun painemittarit: Kaasun paineasettajia käytetään kaasun paineen mittaamiseen. Ne asennetaan yleensä kaasujärjestelmien kriittisissä paikoissa painemuutosten seuraamiseksi ja varmistamaan, että ne ovat turvallisissa rajoissa. Kaasun painemittareita käytetään laajasti teollisuudessa, valmistuksessa ja laboratorioissa, ja myös puolijohdeteollisuus on ollut mukana.
Kaasuvuotoilmaisimet: Kaasuvuotojen ilmaisimia käytetään kaasujärjestelmien vuotojen havaitsemiseksi. He havaitsevatKaasuvuotojen läsnäolo ja äänestä hälytys, jotta vuotoonnettomuuksien estämiseksi voidaan toteuttaa oikea -aikainen toimenpiteet. Kaasuvuotoilmaisimia käytetään laajasti teollisuus-, kemikaalien, öljy- ja kaasusovelluksissa, ja myös puolijohdeteollisuus on ollut mukana.
Viestin aika: helmikuu 20-2024