Puolijohteiden valmistuksessa käytetyt erilaiset kemikaalit ja kaasut vaativat voimakkaita nestejärjestelmiä keskeytymättömäksi tarjontaan jokaisessa tuotantovaiheessa. Näiden nestejärjestelmien on kyettävä tukemaan puolijohteiden valmistukseen tarvittavia äärimmäisiä prosessiolosuhteita varmistaen samalla puhtaan, vuotovapaan ja hallittuun prosessiin. Siksi nestejärjestelmän komponenttien valinta on kriittinen tarkkuuden puolijohdevalmistusprosessissa.
Korkealaatuisten nestejärjestelmän komponenttien valitseminen on synonyymi lisääntyneelle valmistustehokkuudelle ja vähentyneelle järjestelmän seisokkeille. Puolijohteiden valmistusprosessin suhteen keskustellaan nestejärjestelmän komponenttien kriittisestä roolista ja niiden luotettavuuden merkityksestä.
Nesteen järjestelmän komponenttien merkitys puolijohteiden valmistuksessa
Puolijohteiden valmistuksessa nestejärjestelmän komponentteja ovat erilaiset kemialliset sekoitukset, kuljettaminen ja ohjausjärjestelmät kemiallisten nesteiden turvallisen kuljettamiseksi kontrolloidussa ympäristössä. Ihanteellisella nestejärjestelmällä on:
➢ tasainen kemiallinen sekoitus
➢ -kontaminaation hallinta
➢Temperature ja paineenhallinta
➢Urrupled kemiallinen tarjonta
Vain korkealaatuisimmat komponentit voivat tarjota sellaisia ihanteellisia olosuhteita puolijohteenestejärjestelmässä. Tällaisten komponenttien käytön etuja ovat:
Tarkka: Komponentit, kuten venttiilit, säätimet ja pumput, toimivat samanaikaisesti varmistaakseen, että kemikaalin oikea osuus toimitetaan tuotantosoluun. Tarkat panokset eliminoivat virtausvaihteluiden riskin, mikä parantaa lopputuotteen laatua.
Yhteensopivuus ja puhtaus: Nestejärjestelmän komponentit, joissa on prosessinesteiden kanssa yhteensopivia materiaalikoostumuksia, vähentävät saastumisriskiä. Lisäksi näiden nestejärjestelmän komponenttien vuotovapaa asennus vähentää hiukkasten epäpuhtauksia, mikä tarjoaa puhtaan ja kontrolloidun valmistusympäristön parantuneiden satojen saavuttamiseksi.
Turvallisuus: Puolijohteiden valmistuksessa käytetyt kaasut ja kemikaalit voivat olla haitallisia ihmisten terveydelle. Vuotojen ja vuotojen estämiseen suunniteltu nestejärjestelmäkomponentit voivat kuitenkin toimittaa nämä nesteet tuotantoyksiköille turvallisella ja hallittuun tavalla.
Tehokkuus: Korkealaatuisten nestejärjestelmän komponenttien vuotovapaa rakennus ja tarkka hallinta minimoivat toiminta- ja usein ylläpitävät huoltovaatimukset, edistäen sujuvaa, tehokasta valmistusta tuotantotavoitteiden saavuttamiseksi.
Laadun valmistettu nestejärjestelmän komponenttiratkaisut
Nestejärjestelmän komponentit vaativat korkealaatuisia asennuksia puolijohteiden valmistuksen haasteiden vastaamiseksi. Tärkeimmät komponentit, jotka vaikuttavat Fabiin, sisältävät:
Venttiilit: korkean suorituskyvyn venttiilit, kuten kalvo, palkeet tai neulaventtiilit, säätelevät ihanteellisesti nesteen virtausta tuotantolaitoksissa. Kestävä, korkealaatuiset venttiilit tarjoavat tarkkuuden ja hallinnan, jota tarvitaan tuotanto- ja käsittelyprosessien tehokkuuden parantamiseksi kriittisen puolijohdevalmistuksen kannalta.
Varusteet: Putkien ja letkun järjestelmien ja muiden kriittisten komponenttien korkean säilytyslaitteet tarjoavat suljettuja liitäntöjä nestejärjestelmän komponenttien turvallisuuden ja puhtauden parantamiseksi.
Letkut: Tarkkuuden valmistusvaatimuksia varten eristetyt letkut auttavat lämmönhallinnassa, jotta prosessiolosuhteet tuotantohuoneessa voidaan ylläpitää optimaalisesti. Tämä on tärkeää, koska pienin lämpötilan vaihtelu voi vahingoittaa siruja ja johtaa tuotantojätteisiin.
Joustava letku: Jos olosuhteet sallivat, joustavaa letkua voidaan käyttää vähentämään nestejärjestelmän kollegion varusteiden lukumäärää. Letku on taivutettu halutun nesteen polun saamiseksi. Vähemmän varusteita tarkoittaa vähemmän värähtelyn ja liikkeen aiheuttamien vuotojen ja vaurioiden riskiä.
Sääntelyviranomaiset: Sääntelijät hallitsevat tehokkaasti paineita puolijohteiden valmistusprosessin jokaisessa vaiheessa. Jatkuva ja tarkka virtaus saavuttaa yhdenmukaiset, korkealaatuiset saannot välttäen hukkaantuneita nestekemikaaleja ja erikoismateriaaleja.
Suodattimet: Yksi hiukkas voi vaikuttaa puolijohteiden suorituskykyyn. Erittäin korkean puhtaussuodattimien käyttö eliminoi hiukkasten saastumisen ja minimoi siruvauriot.
Puolijohteiden valmistuksen nestejärjestelmän tehokkuudet voidaan saavuttaa AFK-Lokin laajalla korkealaatuisilla venttiileillä, varusteilla, säätelijöillä, letkuilla ja suodattimilla.
Viestin aika: Lokakuu-09-2023