Häntäkaasukäsittelulaitteet voivat käsitellä syövytysprosesseissa ja kemiallisten höyryn laskeutumisprosesseissa puolijohde-, nestekiteitä ja aurinkoenergiateollisuutta, mukaan lukien SIH4, SIH2CL2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O ja vastaava.
Pakokaasunkäsittelymenetelmä
Pakokaasukäsittelyn ominaisuuksien mukaan hoito voidaan jakaa neljään hoitoon:
1. Vedenpesutyyppi (syövyttävien kaasujen käsittely)
2. Hapettava tyyppi (palavien ja myrkyllisten kaasujen käsitteleminen)
3. Adsorptio (adsorptiomateriaalin tyypin mukaan vastaavan pakokaasun käsittelemiseksi).
4.Plasman palamistyyppi (kaikentyyppisiä pakokaasuja voidaan käsitellä).
Jokaisella kohtelutyypillä on omat edut ja haitat sekä soveltamisalueensa. Kun käsittelymenetelmä on vedenpesu, laitteet ovat halpoja ja yksinkertaisia, ja ne voivat käsitellä vain vesiliukoisia kaasuja; Sähköisen vedenpesutyypin levitysalue on korkeampi kuin vedenpesutyypin, mutta toimintakustannukset ovat korkeat; Kuivalla tyypillä on hyvä hoitotehokkuus, eikä sitä voida soveltaa kaasuvirtaukseen, joka on helppo tukkia tai virtata.
Kemikaalit ja niiden sivuteollisuudessa yleisesti käytetyt sivutuotteet voidaan luokitella niiden kemiallisten ominaisuuksien ja niiden erilaisten alueiden mukaan:
1. Syttyviä kaasuja, kuten SIH4H2, jne.
2. Myrkylliset kaasut, kuten Ash3, PH3, jne.
3. syövyttävät kaasut, kuten HF, HCl, jne.
4. Kasvihuonekaasut, kuten CF4, NF3, jne.
Koska edellä mainitut neljä kaasua ovat haitallisia ympäristölle tai ihmiskeholle, sen on estettävä sen suora päästö ilmakehään, joten yleinen puolijohdelaitos on asennettu suurella keskitetyllä pakokaasukäsittelyjärjestelmällä, mutta tämä järjestelmä on vain veden hankaava pakoputkisto, joten sen käyttö on rajoitettu puolisolujen pitkäaikaisten vesiliukoisten kaasujen pitkäaikaiseen ja hienovaraiseen jakautumiseen. Siksi on tarpeen valita ja sovittaa vastaavat pakokaasukäsittelylaitteet jokaisesta prosessista johdettujen kaasuominaisuuksien mukaan pakokaasuongelman ratkaisemiseksi pienellä tavalla. Koska työalue on enimmäkseen poissa keskipakokaasunkäsittelyjärjestelmästä, usein kaasun ominaisuuksien vuoksi johtuu kiteytymisestä tai pölyn kertymisestä putkilinjassa, mikä johtaa putkilinjan tukkeutumiseen, joka johtaa kaasuvuotoon, ja vakavissa tapauksissa edes aiheuttaa räjähdyksen, se ei pysty varmistamaan, että alueen henkilöstön työturvallisuus on. Siksi työalueella on määritettävä pieni pakokaasujen käsittelylaite, joka soveltuu prosessikaasun ominaisuuksiin, jotta työalueen pysähtyneen pakokaasun vähentämiseksi henkilöstön turvallisuuden varmistamiseksi.
Viestin aika: elokuu-10.-2023