1 | Max.käyttöpaine 20,6 Mpa. |
2 | Max.käyttölämpötila 204 ℃ (korkea lämpötila jopa 454 ℃, tällä hetkellä tiivistemateriaali korvataan laajennetulla grafiitilla) |
3 | Suodatinjärjestelmä Hiukkaspäästöt, kaasut, nesteet ovat käytettävissä. |
4 | Ruostumattomasta teräksestä valmistettu pulverimetallurginen sintrattu suodatinsuodattimen tarkkuus 2μm ~ 40μm |
5 | Suodattimen virtaus 1x 10 -6~1 × 10-2L/min.cm2.pa |
6 | Suodatin voidaan vaihtaa. |
Suodattimen tuoteominaisuudet
1 | Laaja käyttöalue, virtausalue 15 - 300SL/min. |
2 | Sillä on hyvä yhteensopivuus useimpien erittäin puhtaiden puolijohdeprosessikaasujen kanssa. |
3 | 3 nanohiukkasten suodatuskapasiteetti ylläpitää korkeaa virtaustehokkuutta ja erittäin pienen painehäviön. |
4 | 5Ra sähkökiillotettu pinta voi estää sisäisen saastumisen. |
5 | Paista kuumalla typellä deionisoidun veden jälkeen, jotta se täyttää puolijohdeprosessistandardit. |
6 | 1000 tason pölytön aseptinen työpajan valmistus-, puhdistus- ja pakkausympäristö. |
7 | Testaa 100 % heliumvuoto. |
Sisääntulo | Pistorasia | |
1 | 1/8" putkiliitin | 1/8" putkiliitin |
2 | 1/4" putkiliitin | 1/4" putkiliitin |
3 | 3/8" putkiliitin | 3/8" putkiliitin |
4 | 1/2" putkiliitin | 1/2" putkiliitin |
5 | 6mm putkiliitin | 6mm putkiliitin |
6 | 8mm putkiliitin | 8mm putkiliitin |
7 | 10 mm putkiliitin | 10 mm putkiliitin |
8 | 12mm putkiliitin | 12mm putkiliitin |
9 | 1/8″ naaras NPT | 1/8″ naaras NPT |
10 | 1/4″ naaras NPT | 1/4″ naaras NPT |
11 | 1/4" uros NPT | 1/4" uros NPT |
12 | 3/8″ uros NPT | 3/8″ uros NPT |
13 | 1/2″ uros NPT | 1/2″ uros NPT |
Suodattimen tuotteen suorituskykyparametrit
1 | Suodatustarkkuus | ≥0,0025 μm | |
2 | Suodatuksen tehokkuus | Poistonopeus99,99999%≥0,0025μm | |
3 | Nimellisvirtaus | 15L/min | |
4 | 60L/min | ||
5 | 120L/min | ||
6 | 200L/min | ||
7 | 300L/min | ||
8 | Suodattimen koostumus | suodatinelementti | 316L/PTFE |
9 | asuminen | ruostumaton teräs 316L | |
10 | Työolot | Suurin tulopaine | 21Mpa (310kgf/cm2) |
11 | Suurin paine-ero | 15 Mpa (153 kgf/cm2) | |
12 | Maksimi käyttölämpötila | 430 ℃ (inertti kaasu) | |
13 | Heliumin vuotonopeus | 1×10-9 atm.cc/s | |
14 | Pinnan viimeistely | ≤Ra 5μin |